晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 從 2016 年起積極發展再生水技術，今年進一步與南科管理局簽約，設立「台積電南科再生水廠」，也是全台首座民營再生水廠，預計 2021 年導入工業再生水做為晶圓製程用水，初期規劃每日供給再生水約 0.5 萬噸，2023 年則可增加至每日 2 萬噸再生水。
台積電表示，今年與南部科學園區管理局簽約，促建「台積電南科再生水廠」，預計 2021 年啟動園區工業廢水再生工程，導入工業再生水，做為台積電晶圓製程用水，初期規劃每日可供給再生水約 0.5 萬噸，2022 年達 1 萬噸，2023 年則可增加至每日 2 萬噸再生水。
除回收工業廢水，民生汙水再生方面，內政部營建署、經濟部水利署、台南市政府水利局，已於 2017 年合作籌畫與興建永康再生水廠及安平再生水廠。台積電除提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗，也積極表達採購再生水意願，台積電預計，2024 年每日將購買永康及安平兩處再生水廠所生產的再生水共 4.7 萬噸。
秉持拓展多元水資源策略，台積電 2016 年起積極發展再生水技術，成功降低廠內廢水水質相關因子，目前自產所得的再生水，不只達到半導體製程用水標準，排放水也符合法規放流規定，締創國內再生水發展的重要里程碑。
台積電積極實踐綠色製造，持續透過「開源」與「節流」並行的方針，強化用水效率，並使用工業廢水與民生污水再生水，降低自來水用水量，也提供再生水相關經驗與技術，使再生水符合半導體製程對水質要求的高標準，盼能藉此承諾拋磚引玉，帶動產業界對再生水的使用意願，加速再生水相關技術與產業發展。
