SK Materials展開高純度氟化氫生產 脫離日本掌控再進一步

南韓 SK Materials 在週三 (17 日) 表示，該公司已於近期開始了高純度 (99.999%) 氟化氫 (蝕刻氣體) 量產。由於純度已達到一定程度，三星電子及 SK 海力士也都導入使用。

根據《日本經濟新聞》17 日報導，SK Materials 的 99.999%(5N) 高純度氟化氫，雖然在純度上遜於日本產的 99.999999999%(11N) 超高純度氟化氫，但是已被用於晶圓清洗等部分製程。

高純度氟化氫被用於半導體的清洗用途，也由於半導體製程的微細化，需求量也跟著快速增加。

SK Materials 在去年 11 月時，成立了相關材料的研發中心。在研發過程中成功的試作出高純度氟化氫，也在南韓慶尚北道的榮州工廠，設置了年產量 15 公噸規模的生產設備，逐步的朝著國產化目標邁進。計畫在 2023 年前，國產化的比率要拉高到 70%。

南韓半導體業，100% 依賴日本等國所生產的高純度氟化氫。不過就在去年 7 月的時候，日本針對出口到南韓的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺，以及光阻劑等 3 種先進化學品，實施了嚴格的出口管制。這也使得日本在出口這些化學原料時，必須一一接受當局審核才得以放行。

也由於這幾種化學原料，是 OLED 面板及半導體生產所不可或缺的，嚴重關係到南韓電子業的未來發展。南韓也立即展開動作，一方面尋找日本之外的供貨來源，另一方面也在政府支援下積極的推動國產化。

而南韓的 Soulbrain，也展開了純度 99.999% 以上的液態氟化氫生產。