〈台積社會責任〉導入低耗能管路加熱系統 2025年起每年再省8000萬度電

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 今年領先業界將「低耗能管路加熱系統」導入先進製程，目前已導入晶圓十五廠第 7 期廠區，預計 2025 年進一步導入台灣全數 12 吋晶圓廠及晶圓十八 B 廠的 3 奈米與 2 奈米製程，每年將節省 8000 萬度電。

台積電指出，供應晶圓生產機台的氣體管路，以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞，必須在機台運作期間，對管路外部的加熱設備不斷供電，以維持管路表面高溫，確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能，而忽略表面材質的保溫表現，導致熱能易失而造成電力浪費。

台積電節能減碳委員會引領的節能團隊，攜手供應商利用「降低熱損失」的概念，運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質，取代玻璃纖維做為供氣管路外層。

台積電節能團隊領先業界開發第一套「低耗能管路加熱系統」，今年 3 月於晶圓十五廠第 7 期優先試行，有效降低管路表面溫度、減少 25% 能耗，全面減少熱散逸及熱能耗損。

低耗能管路加熱系統除通過台積電廠務處與晶圓十五 A 廠的品質與節能驗證，也已獲得 SGS 第三方驗證機構針對耐熱溫度、延展性等安全認證。