晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 致力打造半導體綠色供應鏈，攜手機台設備商合作開發半導體節能綠色機台，透過 139 項通過驗證的節能方案，應用於於 68 種 5 奈米及未來的 3 奈米先進製程機台，去年已省下 2 億度用電量。
有鑑於製程機台用電量佔全公司能源使用 50% 以上，加上先進製程機台數量逐年增加，台積電 2016 年起攜手機台設備商，合作開發半導體節能綠色機台，在新機台引進前即完成更節能設計驗證、安裝節能元件，擴大先進製程機台節能效果，成為全球第一家要求設備商對先進機台導入節能措施的半導體企業。
台積電去年累計提出 272 項節能行動方案，其中 139 項節能方案已通過驗證，應用於 68 種 5 奈米及未來的 3 奈米的先進製程機台，並針對 17 種耗能元件導入高效能零件與節能設計，成功於當年度省下 2 億度用電量。
台積電節能減碳委員會自 2018 年啟動「新世代機台節能行動專案」，每年邀集全球半導體設備商及元件供應商，舉行超過 100 場討論會。
台積電去年針對前 6 大耗電量設備商，要求其深入分析先進機台模組的耗能參數，並定期召開技術精進會議，共同尋求更節能的創新設計，並透過不斷反覆驗證，開發更具綠色效益的先進機台。同時，也將節能規範納入新機台採購標準規格，落實節能決心。
除前六大耗能設備商，台積電也在去年的第 20 屆供應鏈管理論壇，對近 700 家半導體業界的設備、廠務等供應商，再次重申綠色製造重要性與決心，透過宣布當年度公司節能成效、未來節能方針，激勵供應商提出更多創新的節能方案。
台積電表示，今年將持續與機台設備商合作開發新的節能行動方案，預計將有超過 143 項節能方案通過驗證，邁向 2030 年平均機台設備節能效益 20% 的永續目標。
