台積電攜手設備商開發智能系統 列先進封測廠測試機台標準設計

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 攜手設備供應商針對測試機台開發「智能壓縮乾燥空氣 (CDA) 流量控制系統」，節省測試機台 70% CDA 用量，已導入先進封測廠針測機 (Prober)，預計第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並列為新建先進封測廠測試機台標準設計。

台積電實踐綠色製造，致力優化製程能源使用效率，除以二大策略、6 項行動方案擴大節能成效外，在不影響機台效能的前提下，開發 CDA 流量控制系統。截至今年 3 月，每年減少碳排放量 4473 公噸、省電 891 萬度。

晶圓測試目的為確認每片晶圓的可靠度與良率，依不同測試環境需求，部分測試機台由廠務系統全時段供應 CDA，以確保低溫時仍保持乾燥，維持測試環境穩定性。

台積電指出，因半導體製程快速演進使測試需求持續增加，為提升機台運作與 CDA 使用效率，測試營運處 2020 年第三季啟動「智能 CDA 流量控制系統開發專案」，與設備供應商合作改造測試機台管路、控制閥件及控制軟體系統，透過擷取機台參數，可依據測試環境需求自動控制 CDA 流量開關，達到有效節省 CDA 用量與電力效益。

台積電預計第四季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並將智能 CDA 流量控制系統列為新建先進封測廠測試機台標準設計，預估至 2026 年可年省 4000 萬度電、減碳超過 2 萬噸，相當於 52 座大安森林公園 1 年的二氧化碳吸附量。

台積電也規畫將智能 CDA 流量控制系統導入測試機 (Tester)，持續擴大節能效益，朝能源使用效率最佳化目標邁進。