晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW)(TSM-US) 為確保製程關鍵材料光阻穩定供應，打造創新商業模式，推動光阻供應鏈在地化，去年光阻供應商在台設立第一座極紫外光 (EUV) 光阻生產工廠，截至今年 4 月，年產值超過新台幣 10 億元，台積電並評估第四季建立「機台租賃平台」，提供有需求的供應商使用。
隨著台積電產能擴張，原物料需求亦不斷成長，為確保光阻穩定供應，台積電將曝光機台以租賃方式提供光阻供應商使用，降低其投資成本、提升來台設廠意願。截至 4 月，光阻供應商已在台產出超過千瓶 EUV 光阻劑，創造逾新台幣 1 億元商業價值，同時達到台積電資產活化再利用效益。
光阻是半導體微影製程的重要材料，因驗證其品質的曝光機台售價與保養費用高昂，使光阻供應商來台設廠進度難以推進。
為解決光阻供應商投資成本過高問題，同時促進在地供應鏈發展，台積電資材供應鏈管理處攜手營運資源規劃處、晶圓十二 A 廠，依產能需求全面盤點廠內機台資源，將曝光機台出租予光阻供應商，使其無須額外購買機台驗證光阻品質。
台積電邀請光阻供應商來台設廠後，不僅光阻生產週期由 28 天縮短為 17 天、減少 18% 空運過程碳排放量，在地化生產年產值更逾新台幣 10 億元，有效降低進口供料風險與成本支出。
