日本多家半導體材料製造商看好中長期旺盛需求，正持續進行積極投資，例如凸版印刷 (Toppan) 將透過子公司 Toppan Photomask 於 2023 年度前投資約 200 億日元，強化台、日等地的光罩生產，三菱化學也在台灣蓋新廠，生產半導體蝕刻、洗淨等用途的高純度硫酸。
Toppan Photomask 生產的光罩產品，目前供應給台灣和美國等國家的大型半導體廠。該公司將砸下約 200 億日元，要在 2023 年度之前，強化或更新台灣、日本和中國等地工廠的生產設備。
Toppan Photomask 增設產線所生產的光罩產品，將用在邏輯 IC 的 5~10 奈米製程、以及 DRAM 的 10 奈米左右製程。Toppan Photomask 希望把這類用於 40 奈米以下製程的光罩產品產能，提升到比 2020 年度高約 2 成。
Toppan Photomask 在 2021 年度也投資約 100 億日元，擴張極紫外光 (EUV) 光罩產品的生產線。該公司表示，半導體短期內去化存貨不令人意外，但中長期仍可望成長。
其他日本廠商方面，三菱化學於 2022 年春天在台灣工廠投入數十億日元，將高純度硫酸的生產能力提升至以往的 1.5 倍，德山 (Tokuyama) 在台灣的新工廠也已開始生產 IPA(異丙醇)。
