台積電 (2330-TW)(TSM-US) 積極帶動半導體供應鏈落實低碳管理，鼓勵供應商針對精餾塔打造碳捕捉設備，將工業級液態二氧化碳精餾過程中的殘氣，再次導入製程內進行二次純化，再製為符合公司品質規範的電子級液態二氧化碳，提升綠色供應鏈韌性，截至今年 8 月，已捕捉二氧化碳 500 公噸。
台積電表示，當工業級液態二氧化碳於精餾塔中純化後，高純度的二氧化碳會進入冷凍機製成電子級液態二氧化碳，是半導體製程的關鍵原料，而純度較低的二氧化碳則會被分離排出。
供應鏈營運過程產生的碳排放是台積電極為重視的一環，為友善環境並提升二氧化碳使用效率，在不影響原有製程品質前提下，台積電去年第一季啟動「供應商液態二氧化碳之碳捕捉計畫」，鼓勵供應商透過改造精餾塔塔頂的管路，增設回收管線捕捉被分離的二氧化碳，將其導回塔內進行再次純化。
台積電也持續擴大供應鏈管理中的碳捕捉機會點，建議供應商針對其回廠槽車設計二氧化碳殘液回收系統，增設管線將槽車內殘餘的液態二氧化碳汽化後，透過冷凍機冷凝成液態二氧化碳，再進入原料槽重新導回精餾塔進行二次純化，今年 7 月已完成設備建置並試運轉，預估未來正式上線後每年可減碳約 1000 噸。
