imec推公開使用版虛擬晶圓廠 量化IC製造業的環境影響

比利時微電子研究中心 (imec) 宣布推出免費使用版的虛擬晶圓廠 imec.netzero 模擬平台，該工具提供量化晶片製造業環境影響視角，提供學界、政策制定者及設計人員具有價值的洞見，目標是跨出半導體供應鏈和永續半導體技術與系統研究計畫，提供有關晶片製造業環境影響的高品質透明資料。

半導體製造是一套複雜的流程，伴隨多種環境影響，從消耗大量能源、使用稀有材料到排放溫室氣體。業界考量到這塊市場的成長，以及巴黎協定為氣候變遷訂定的目標，正在努力優化製程步驟。然而，測定並減緩具備較大環境影響的製程或技術需要大量的資料。

這正是 imec 永續半導體技術與系統研究計畫正在處理的問題。該計畫是一項關乎整個半導體生態系統的合作框架。除了從電子產品的終端使用者、晶圓廠、代工晶圓廠到材料及設備製造商，也攜手學界及政府單位。

為了正確量化晶片製造所帶來的環境影響，imec 開發一款取名 imec.netzero 模擬平台的虛擬晶圓廠。該網頁應用運用從自家晶圓廠取得的資料；這些資料與從設備、材料及晶圓廠合作夥伴那邊取得的資料不斷進行基準測試，包含亞東工業氣體、應用材料、ASM、艾司摩爾、愛德華、日本 KURITA、科林研發、日本 SCREEN、東京威力科創、格羅方德、三星電子和台積電 (2330-TW)。

這款虛擬晶圓廠採用生命週期評估研究方法，搜集並分析晶片製程在每個步驟所用的能源、材料、化學品、氣體及其它資源。合作夥伴可取得 imec.netzero 模擬平台的專用版軟體應用，詳細量化分析當前及未來晶片技術所帶來的隱含排放和其它環境影響，導出實際行動。