矽晶圓大廠環球晶 (6488-TW) 今 (25) 日召開股東會，董事長徐秀蘭表示，12 吋的方形單晶矽晶圓目前已開始小量驗證，規格為 310mm x 310mm，公司正趕建無塵室，目標今年第四季量產。
她指出，方形矽晶圓為單晶矽晶圓，由於對角線接近 18 吋，因此需先拉出 18 吋晶棒，再加工成方形晶圓，產品將在台灣生產。
徐秀蘭表示，方形矽晶圓目前仍處於小量驗證階段，但因公司現有無塵室已全滿，加上客戶持續催促環球晶加快準備，因此公司利用竹南過去做太陽能的空間，重新整理出新的無塵室，作為方形矽晶圓基地。
她說明，方形矽晶圓規格為 310mm x 310mm，因此必須先長出接近 18 吋的晶棒，再切出中間方形區域，而最大挑戰在於現有矽晶圓的設備幾乎都不能直接使用，因為目前所有設備多數都是為圓形矽晶圓設計。她舉例，最簡單的圓邊機原本是靠圓形晶圓旋轉進行加工，但方形晶圓沒有圓邊，卻仍需要邊緣研磨，因此設備必須重新設計或修改。
她進一步說，除了研磨機以外，切片機、拋光、矽晶圓晶舟盒、清洗機等也都無法直接沿用，坦言製程原理大家都懂，但現有裝置幾乎沒有一台可以直接使用，很多設備都必須買新的或重新設計。
徐秀蘭指出，方形晶圓相關資本支出不少，公司也持續與客戶溝通，希望客戶理解建置成本。她表示，目前第一期產能仍低，約每月幾千片，後續若客戶需求增加，可以一個模組、一個模組擴充。公司預留較大的無塵室空間，若未來客戶需求明確，不必再重新擴建無塵室，只需增加相關設備。
