〈環球晶股東會〉12吋方形矽晶圓「磨」刀霍霍 均豪、東台成大贏家

IC示意圖。(圖:REUTERS/TPG)
IC示意圖。(圖:REUTERS/TPG)

環球晶 (6488-TW) 預計 12 吋方形矽晶圓將自今年第四季初小量出貨,目前正攜手設備商解決方形矽晶圓的研磨瓶頸。業界指出,均豪 (5443-TW) 長期深耕研磨領域,目前與環球晶有多個專案進行中,可望成為大贏家,而同屬 G2C + 聯盟的東台 (4526-TW) 也已推出多個研磨設備,兩家可望一同搶食即將爆發的 CoPoS 商機。

均豪近年積極將研磨技術發揚光大,先是供應給昇陽半 (8028-TW) 再生晶圓的化學機械研磨 (CMP) 的研磨拋光設備,一舉取代外商,成為昇陽半本土化設備的重要關鍵,後來更傳出與環球晶攜手開發大尺寸 8 吋的碳化矽 (SiC) 化學機械研磨 (CMP) 製程,成為全台第一家大尺寸的研磨拋光設備商。

均豪原先即是顯示器設備的供應商,對大尺寸並不陌生,隨著半導體先進封裝朝大型化發展,大尺寸的方形矽中介層以及玻璃基板雙雙成為解方,均豪也切入相關領域,開發對應的研磨設備,目前已可支援 700 mm x 700 mm,滿足方形需求。

此外,均豪與東捷 (8064-TW) 曾在面板時代被譽為「北均豪、南東捷」,隨著東捷近期積極轉往半導體發展,母公司東台 (4526-TW) 也同樣跨入半導體領域,推出一系列晶圓研磨機、刨平機及延性研磨機等產品線,大搶先進封裝平坦化商機。

環球晶董事長徐秀蘭指出,目前方形矽晶圓規格為 310mm x 310mm,因此必須先長出接近 18 吋的晶棒,再切出中間方形區域,而最大挑戰在於現有矽晶圓的研磨設備幾乎都不能直接使用,必須全部都買新的。

業界分析,圓形矽晶圓過去是透過讓晶棒自轉與設備公轉,互相作用形成圓邊,但如今方形矽晶圓具有明確的四個邊,卻仍需要邊緣研磨,設備必須重新設計或修改,也因此研磨製程成為如今迫在眉睫的瓶頸。

台積電目前 CoPoS 為雙軌並進,一是將玻璃基板作為單純的載體 (Carrier),二則是將中介層的尺寸改為方形矽晶圓,目前兩者都需要大量的研磨設備,也讓相關研磨商機崛起,均豪、東台兩者長期耕耘研磨領域,兩者也可望同步受惠。


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